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真空計--用於高真空之離子式真空計,常見的有冷陰極真空計(Cold Cathode Gauge, or Penning Gauge)以及熱陰極真空計,或直接稱之為離子真空計(Hot Cathode Gauge, or Ionization Gauge, Ion Gauge),何謂之?
最新張貼時間 2015-09-10 01:39:27 . 1 回覆.
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張冠迪
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Posts:102
2013-05-24 06:11:13
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1.冷陰極真空計 (Cold Cathode Gauge, or Penning Gauge)
[原理]
低氣體壓力時,由Penning 放電電流大小之量測以做壓力指示.由不加熱之高壓電極間產生所謂的冷放電現象,即冷陰極真空計名稱之由來。
[特性]堅固耐用售價不高;使用容易,其操作僅為控制單元上之“開關”動作。污染之探測頭可清洗準確度不如離子真空計,指示壓力隨氣體種類變化
[注意事項]在高真空(<10^-6 Torr)情況下,不易開啟。如果指示錶上指針晃動厲害,表示探測頭內部嚴重污染,必須清洗。
2.熱陰極真空計,或直接稱之為離子真空計(Hot Cathode Gauge, or Ionization Gauge, Ion Gauge)
此種真空計有各種不同的形式,常看到的大概是 Bayard-Alpert Type(B.A. Type)。以此形式而言,包含感測頭以及控制單元,其中控制單元又包含:
電子發射電流調節器(Electron emission current regulater),電流信號放大器,各電極間偏壓穩定器,以及除氣(degas)電源;燈絲過壓保護線路等。
[原理]
熱燈絲放射之電子被加速後,與系統中的氣體分子碰撞並將之游離,正離子被集極(Collector)收集,所產生之電流大小與分子數目多少,即系統壓力成比例關係由電流之量測以做壓力之指示 。
[特性]
高真空系統中廣為使用之真空計,準確度高,指示壓力隨氣體種類變化。
Ace
Basic Member
Posts:225
2015-09-10 01:39:27
引用
回覆
冷陰極真空計和熱陰極真空計在相同真空讀值時,其到達該真空讀值的時間長短是否不一樣?
哪一類真空計會比較快到達該真空值?
例如:
Edwards AIM(冷陰極真空計)和AIGX(熱陰極真空) 這兩款 gauge,其真空量測範圍大約在 1.0E-3 ~1.0E-8 torr,哪一類真空計會比較快到達 2.0E-7 torr? 時間大概分別是多久?
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